晶圓代工龍頭台積電(2330)與半導體設備大廠艾司摩爾(ASML)宣布發起產業合作,共同推動High NA EUV光罩由現行6吋升級至12吋,目標於2031年前建立12吋光罩試產線,並於2033年前讓12吋High NA EUV微影系統全面就緒,以支援先進製程量產。台積電指出,擴大光罩尺寸有望提升晶圓廠生產力、降低晶片製造成本,同時解除High NA EUV......
為替高數值孔徑極紫外光(High NA EUV)技術進入先進製程量產掃除雙光罩拼接限制,台積電(2330)與全球微影設備大廠艾司摩爾(ASML,NASDAQ:ASML)今(8)日宣布展開產業合作,將High NA EUV光罩由現行6吋升級至12吋。雙方目標於2031年前建立12吋光罩試產線,並於2033年前讓相關微影系統全面就緒,支援先進製程量產。台積電並表......